在光刻机中，光刻衍射是机中一个常见的问题，它会影响到图案的衍射精度和清晰度。因此，避免为了避免衍射的光刻影响，需要采取一些措施。机中

首先，衍射要选择合适的避免光源。光源的光刻波长和光强度都会对衍射产生影响。一般来说，机中波长越短，衍射光强度越强，避免衍射就越小。光刻因此，机中在选择光源时，衍射应该考虑到这些因素。

其次，需要优化光刻机的光路设计。光路设计的好坏也会影响到衍射的程度。为了减少衍射，可以采用一些光学元件，例如衍射光栅、透镜等，来改善光路的设计。

最后，还需要注意光刻机的使用环境。光刻机应该放置在干燥、稳定的环境中，以避免因温度、湿度等因素引起的光学变化，从而影响到衍射的程度。

综上所述，避免衍射的关键在于选择合适的光源、优化光路设计和注意使用环境。只有在这些方面都做到了最优化，才能在光刻机中实现高质量的图案制作。

(责任编辑：探索)