三氧化硫分子的氧化化学式为SO3，其中心原子为硫。硫中硫原子的心原电子排布为1s²2s²2p⁶3s²3p⁴，因此其价电子数为6个。化方在SO3分子中，氧化硫原子需要与3个氧原子形成共价键，硫中使得硫原子的心原8个电子都能够参与化学键的形成。为了达到这个目的化方，硫原子需要进行杂化，氧化使得其3个p轨道与3个sp²杂化轨道形成6个等价的硫中杂化轨道，这些轨道与氧原子的心原2p轨道重叠形成共价键。

杂化过程中，化方硫原子的氧化3个p轨道和一个s轨道混合形成4个sp³杂化轨道。其中3个sp³杂化轨道与3个氧原子的硫中2p轨道重叠形成3个σ键，而第四个sp³杂化轨道则与3个氧原子的心原一个未杂化的p轨道重叠形成一个π键。这样，硫原子与3个氧原子形成了3个σ键和1个π键，使得SO3分子的形状呈现出三角锥形。